MFC202系列,气体质量流量控制器
规格：MFC202
单位：套
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性能标签：
MFC202系列,气体质量流量控制器,最大流量20000sccm,最大压力500PSI
产品详细描述
MFC 系列热式质量流量控制器为多功能产品，该产品的设计易于使用，方便进行流量检测与控制。本类产品标准最大工作压力为500psig，标准标定时采用空气、氦气、氢气、二氧化碳，其他气体标定可按要求进行。
所有流量计和控制器均由316L不锈钢棒料制造，可用流量范围从0-10sccm到0-20lpm，其精度可高达±1%满刻度。并且每台仪器都可提供可追溯的NIST标定证书。电路设计可以抗高射频干扰，且响应速度很快，从而确保性能可靠和精度。
特点
• 全量程±1%精度
• 经过验证的可靠性
• 量程–20,000 sccm
• NIST 可追溯校准
应用
• 泄漏测试
• 医疗研究
• 气象淀积
• 研发和工艺流程
• 半导体制程
• 污染检测
• 气体混合
• 色谱分析
技术指标
| MFC202 | |
| 精确度和线性度 | ±1% 量程 |
| 重复精度 | ±0.05% 量程 |
| 标准额定压力 | 500 psig |
| 压力系数 | 典型-0.0067%/psi (0-1000 psig N2 ) |
| 控制阀压降* | 15-65 psig |
| 整体泄漏率 | <1x10-9 sccs |
| 温度系数 3 | 零 ±0.035% 量程/°C (0-60°C) |
| 量程 ±0.05%读数/°C (0-60°C) | |
| 标准温度和压力 | 0°C和760托 |
| 电源 | ±15 VDC @ ±60 mA/-185 mA |
| 流量信号 | (本征线性) 0-5VDC |
| 控制信号 | 0-500 VDC or 4-20 mA |
| 接触介质的材料 | 316不锈钢, 302不锈钢, 镍, Viton®, 82/18 Au/Ni钎焊, 微量银焊接, Kalrez® |
| 连接器 | 15针微型 D |
| 接头 | 1/4" 和 1/8" 卡套 |
| 重量 | |
| 1.8 lb (0.82 kg) |
选型表
| MFC-202订货号 | 流量范围 | 1/4"卡套 | 1/8"卡套 |
| MFC-202-2-10 | 0-10 SCCM | ⊙ | |
| MFC-202-2-100 | 0-100 SCCM | ⊙ | |
| MFC-202-2-500 | 0-500 SCCM | ⊙ | |
| MFC-202-2-1000 | 0-1000 SCCM | ⊙ | |
| MFC-202-4-3L | 0-3 SLM | ⊙ | |
| MFC-202-4-5L | 0-5 SLM | ⊙ | |
| MFC-202-4-10L | 0-10 SLM | ⊙ | |
| MFC-202-4-20L | 0-20 SLM | ⊙ |
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